掩膜版｜保護膜表面顆粒物快速檢測系統（PDS）為掩膜版、掩膜版保護膜以及基板（襯底）制造工藝，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。 該系統對粒徑大于 0.1µm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高效且提供服務(wù)的選擇。它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及較低的維護成本，取代傳統的顆粒檢測系統。

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統（PDS)，專(zhuān)為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設計，主要應用于半導體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測，也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測。該系統配備 4-12 英寸視場(chǎng)（FOV）掃描區域，支持上下表面檢測。其光學(xué)設計使產(chǎn)品在計量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測。該系統可根據不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線(xiàn)。

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取”采樣技術(shù)的表面污染檢測工具，可通過(guò)間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專(zhuān)用 PMC 采樣卡能在各類(lèi)表面（包括難以觸及區域和高粗糙度表面）實(shí)現靈活采樣，且不會(huì )殘留可檢測的痕跡。該設備可在數秒內完成 225 mm2 采樣區域的分析，確?？焖佾@得精準檢測結果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進(jìn)行檢測，滿(mǎn)足跨行業(yè)復雜

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監控儀，專(zhuān)為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀(guān)易用的軟件系統，幫助客戶(hù)實(shí)現從單純空氣監測向表面潔凈度監測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續改進(jìn)提供科學(xué)依據。