晶圓表面顆粒物快速檢測系統（PDS)

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統（PDS)

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統（PDS)，專(zhuān)為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設計，主要應用于半導體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測，也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測。該系統配備 4-12 英寸視場(chǎng)（FOV）掃描區域，支持上下表面檢測。其光學(xué)設計使產(chǎn)品在計量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測。該系統可根據不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線(xiàn)。

生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測量

快速: 能在數秒內完成大面積成像

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監測 

操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響，自動(dòng)化，潔凈抓取方式 

精準: 高分辨率測量（數量、位置、尺寸） 

一致性: 每次測量都保持客觀(guān)、穩定

高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內得出結果

FM-PDS: 直接檢測表面顆粒

該系統可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導體以及先進(jìn)封裝應 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。 

該系統對粒徑大于 0.1µm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供服務(wù)的選擇。

它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及 較低的維護成本，取代傳統的顆粒檢測系統。 

對于下一代半導體生產(chǎn)應用， PDS 系統具備的屬性：雙面同 時(shí)掃描（選配）；

靜態(tài)視場(chǎng)掃描（在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品）。

多功能模塊化平臺

系 統 可 定 制，以 適 應 每 個(gè) 生 產(chǎn) 認 證 流 程，或 融 入 生 產(chǎn) 線(xiàn) 。其 配 置 包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設備、用于檢測和清潔的封裝開(kāi)啟 設備、填充設備、機械臂、檢測單元以及清潔設備。 

該系統可根據需要客戶(hù)需求進(jìn)行定制和擴展。測量模塊也可為系 統集成商和原始設備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù)。