環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監控儀

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監控儀

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監控儀，專(zhuān)為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀(guān)易用的軟件系統，幫助客戶(hù)實(shí)現從單純空氣監測向表面潔凈度監測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續改進(jìn)提供科學(xué)依據。

生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測量

快速: 秒級連續監測

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監測 

易操作: 操作員簡(jiǎn)單培訓即可使用

精準: 高分辨率測量（數量、時(shí)間線(xiàn)、位置、尺寸）

一致性: 可重復的客觀(guān)測量結果

高吞吐量: 現場(chǎng)實(shí)時(shí)分析

監測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監控儀（PFS）采用緊湊的工 業(yè)設計，依據 ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標準，監測顆 粒沉積速率（DPRL）。該設備使工藝/質(zhì)量工程師能夠實(shí)時(shí) 監控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區域的顆粒沉降情況。

在關(guān)鍵區域實(shí)現持續監測

區別于傳統的僅監測空氣懸浮顆粒，該系統可以對關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗證進(jìn)行持續監測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中，它們可能沉積于關(guān) 鍵表面，影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒，并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續粒子沉降監測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過(guò) NIST 認證），并準確量化 沉降速率。 軟件界面簡(jiǎn)單直觀(guān)，可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS  是 一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器，幫 助 工 程 師 應 對潔凈工藝控制挑戰。

結合 Phenom XL 掃描電鏡，可以 便捷高效的進(jìn)一步對顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析。